下载EEPROM的制备方法的技术资料

文档序号:12666656

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本发明提出了一种EEPROM的制备方法,在形成存储比特结构和常开比特结构之后,对其中需要置于常开比特结构进行离子注入,离子注入于常开比特结构下方衬底的表面,可以降低阈值电压,提高电流,在EEPROM工作时有利于数据的存储和维持,提高器件的性...
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