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本实用新型公开了一种晶圆承盘结构，其包括一第二挡墙，第二挡墙设置于晶圆承盘的周缘，藉由将第二挡墙分为交互接邻的第三段及第四段，使第四段的宽度大于第三段的宽度，并将第四段设置于邻近晶圆承盘的转角处，藉此增强第二挡墙于转角附近的厚度，使第二挡墙...
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