温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种改进产品标准的方法，晶圆在进入扫描机台区域时，由自动派工系统安排扫扫描机台上，进行常规的扫描，到扫描结果超过了控制标准后，会触发一个超规格操作流程，判断下一步的处理操作，由良率工程师根据实际情况进行判断下一步的操作，由电脑来执行工程师的...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。