下载下沉式硅片清洗篮的技术资料

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本实用新型公开了一种下沉式硅片清洗篮,包括清洗篮本体,清洗篮本体的底面设置有左片盒平台和右片盒平台,所述的清洗篮本体上左片盒平台和右片盒平台的下方设置有下片盒平台。本实用新型能有效增加清洗数量,提高硅片的产出,减少人力成本与设备资源的投入。...
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