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本发明涉及半导体用高纯钽靶材的粉末冶金制备方法，尤其是一种用粉末冶金法制备高性能钽靶材的方法。其特点是，包括如下步骤：(1)将要烧结的钽粉末装入模具中；(2)将模具放入电火花烧结炉中对粉末进行放电等离子烧结；(3)烧结结束后，冷却至不超过1...该专利属于宁夏东方钽业股份有限公司;国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心所有，仅供学习研究参考，未经过宁夏东方钽业股份有限公司;国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心授权不得商用。