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空心阴极放电抑制电容耦合等离子体电极和气体分配面板制造技术
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文档序号:12583183
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本发明涉及空心阴极放电抑制电容耦合等离子体电极和气体分配面板。本发明涉及一种用于等离子体处理室的气体分配系统的面板,包括面板主体,该面板主体具有第一表面、与第一表面相对的第二表面和侧面。在面板主体中的第一多个孔从所述第一表面延伸到第二表面。...
该专利属于朗姆研究公司所有,仅供学习研究参考,未经过朗姆研究公司授权不得商用。
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