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本发明公开一种等离子辅助电弧技术制备TiCN成分梯度硬质涂层的方法。该方法先将基体研磨、抛光、超声清洗，辅以离子清洗与刻蚀，然后采用先进等离子辅助电弧技术（APA-Arc），在一定负偏压、沉积温度、气体压强条件下，通过改变反应气体流量在基体...
该专利属于华南理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过华南理工大学授权不得商用。

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