下载一种厚铜板蚀刻工艺的技术资料

文档序号:12516540

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本发明公开了一种厚铜板蚀刻工艺,包括以下步骤:S1,压模;S2,曝光;S3,显影;S4,蚀刻;S5,测量线宽线距;S6,退膜。本发明将要蚀刻的线路面超下,这样可以很好的避免水池效应,提高蚀刻因子,同时提高蚀刻的均匀性,并且降低由于设备、药水...
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