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本发明揭示了一种晶圆固定装置，包括：夹具、联轴器和密封圈。夹具包括一盘状部分和一杆状部分，杆状部分中空形成腔体，盘状部分上开有真空气孔，真空气孔与杆状部分的腔体连通，盘状部分上开有环形槽，盘状部分的外周形成有台阶面，台阶面低于盘状部分的端面...
该专利属于盛美半导体设备(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛美半导体设备(上海)有限公司授权不得商用。

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