下载真空磁控溅射金属膜层设备的档板结构的技术资料

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一种真空磁控溅射金属膜层设备的档板结构,主要包括档板、螺杆及马达,本实用新型是于真空磁控溅射金属膜层设备中装置一个以上,此档板的移动可于真空磁控溅射金属膜层生产过程中产生侧向厚度改变的功能,本实用新型借由电源线通电后让马达转动螺杆来控制档板...
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