温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型涉及一种芯片生产装置,具体涉及一种芯片转移装置,包括底板,所述底板上设置有侧壁,所述侧壁与底板组成一端开口的器具,该器具至少有一相对应的侧壁之间的距离大于芯片晶圆直径,使得该器具能放入多个芯片晶圆,所述侧壁内侧刻有多个与芯片晶圆厚...该专利属于成都先进功率半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都先进功率半导体股份有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型涉及一种芯片生产装置,具体涉及一种芯片转移装置,包括底板,所述底板上设置有侧壁,所述侧壁与底板组成一端开口的器具,该器具至少有一相对应的侧壁之间的距离大于芯片晶圆直径,使得该器具能放入多个芯片晶圆,所述侧壁内侧刻有多个与芯片晶圆厚...