温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种原子层沉积镀膜装置，其包括，腔体，所述腔体包括分离设置的上部腔体和下部腔体，还包括反应源进气机构、反应物排气机构和真空气缸载片机构。装置中各部分结构采取模块化设计，可以针对被镀膜基片的大小和镀膜要求独立调整各结构，以保证...
该专利属于深圳市星火辉煌系统工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市星火辉煌系统工程有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。