下载用于提高衬底载体的性能的方法的技术资料

文档序号:12480344

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种修改衬底载体以提高处理性能的方法,包括在由衬底载体支撑的衬底上沉积材料或制造器件。然后根据它们在衬底载体上的对应位置测量在衬底上沉积的层的参数。使在衬底上制造的至少一些器件的测量的参数或沉积的层的特性与衬底载体的物理性质关联,以获得与衬...
该专利属于维易科精密仪器国际贸易(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过维易科精密仪器国际贸易(上海)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。