下载晶片承载装置的技术资料

文档序号:12473415

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一种晶片承载装置,包含一载盘,及一限位单元。该限位单元只包括一限位凸块,及两个限位机构。所述限位机构是位于该限位凸块的对侧,每一限位机构皆具有相向延伸且相互间隔的第一限位部,及一个一体连设于该第一限位部且朝向该限位凸块方向延伸的第二限位部。...
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