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一种用于制备多元素改性铝化物涂层的化学气相沉积设备,包括真空反应腔室、气体供给控制系统以及真空与尾气处理系统,其设备工艺参数灵活性提高,涂层成分灵活、可控,产品一致性良好,气体供给控制系统的每一路工艺气体管道上都依次设置有气体减压阀、体积流...该专利属于华能国际电力股份有限公司;西安热工研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华能国际电力股份有限公司;西安热工研究院有限公司授权不得商用。