下载一种真空镀膜系统的技术资料

文档序号:12440994

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本发明公开了一种真空镀膜系统,包括控制器、真空镀膜机、镀膜室、冷却室、排气阀以及人机界面,所述的控制器与真空镀膜机相连接,所述的镀膜室和冷却室分别与真空镀膜机相连接,所述的排气阀与镀膜室相连接,所述的人机界面与控制器相连接。通过上述方式,本...
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