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本发明公开了一种适合于精确评价金刚石玻式压头尖端曲率半径的方法，其步骤如下：一、建立金刚石玻氏压头的三维模型，根据此模型推导精确描述压头的面积函数；二、用步骤一推导出的面积函数直接拟合AFM测量数据即可得到精确的压头尖端钝圆半径。本发明所建...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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