下载一种基于石墨烯/金属复合导线的片上电感及其制备方法的技术资料

文档序号:12420582

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本发明公开了一种基于石墨烯/金属复合导线的片上电感及其制备方法,属于微电子器件技术领域。该片上电感包括衬底,衬底上设有由石墨烯/金属复合导线组成的电感线圈,所述石墨烯/金属复合导线包括金属导线及其外表面包裹的石墨烯膜。其制法为:(1)在衬底...
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