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一种基于石墨烯/金属复合导线的片上电感及其制备方法技术
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下载一种基于石墨烯/金属复合导线的片上电感及其制备方法的技术资料
文档序号:12420582
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本发明公开了一种基于石墨烯/金属复合导线的片上电感及其制备方法,属于微电子器件技术领域。该片上电感包括衬底,衬底上设有由石墨烯/金属复合导线组成的电感线圈,所述石墨烯/金属复合导线包括金属导线及其外表面包裹的石墨烯膜。其制法为:(1)在衬底...
该专利属于武汉大学所有,仅供学习研究参考,未经过武汉大学授权不得商用。
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