下载准三维光子晶体窄线宽激光器的技术资料

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一种准三维光子晶体窄线宽激光器,包括:一n型衬底;一外延结构,其制作在n型衬底上;一有源层,其制作在外延结构上;一覆盖层,其制作在有源层上,该覆盖层上面的一侧形成多个凸起的宽条光栅,该覆盖层上面的中间为一平面区域,该覆盖层上面的另一侧形成多...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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