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本发明提供一种晶片校准装置以及半导体加工设备，包括真空腔室、承载件、旋转机构、光源以及光线接收处理装置，其中，承载件设置在真空腔室内，且包括用于承载晶片的承载面；旋转机构用于驱动承载件旋转；光源设置在承载件上方，用以朝向承载面的边缘处发射光...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。