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本发明涉及压力传感器，提供一种基于超薄膜的电容式压力传感器的制作方法，于衬底上制备至少一层超薄膜，同时还制备有一层绝缘薄膜，绝缘薄膜上蚀刻有至少一个空腔，采用超薄膜与基底分别贴合于绝缘薄膜的两端面，形成对空腔的密封，然后去除衬底，通过两个焊...
该专利属于武汉大学;武汉飞恩微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉大学;武汉飞恩微电子有限公司授权不得商用。

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