专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
应用材料公司
>
用于基板处理腔室的带鳍片的挡板盘制造技术
>技术资料下载
下载用于基板处理腔室的带鳍片的挡板盘的技术资料
文档序号:12355850
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本文提供用于处理腔室中使用的挡板盘。在某些实施方式中,处理腔室中使用的挡板盘可包括具有外周的主体、主体的顶表面与主体的底表面,其中顶表面包括具有实质上水平的平坦表面的中央部分,以及由中央部分以径向向外设置的至少一个斜角结构,每个所述至少一个...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。