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本发明提供了一种制备多材料分区组成的薄膜层的掩膜方法。所述的掩膜方法借助由基底、掩膜板、支撑架组成的掩膜机构，制备由两种或以上材料分区域组成的单层薄膜产品。本发明中，掩膜板须根据薄膜产品做特殊定制：每块掩膜板与薄膜产品中的每种材料一一对应，...
该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。

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