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本发明涉及一种保护用于沉积多晶硅的反应器中的电极密封的装置，其中在电极的电极固定器(1)和反应器的底板(3)之间的中间空间中设置密封体(2)，其中提供保护环(4)，所述保护环径向环绕电极固定器(1)和密封体(2)，并且接触底板，或者提供罩(...
该专利属于瓦克化学股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过瓦克化学股份公司授权不得商用。

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