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终端光学元件损伤在线检测中孪生像尺寸的定量检测方法技术
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文档序号:12338147
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本发明是终端光学元件损伤在线检测中孪生像尺寸的定量检测方法,它属于光学元件检测技术领域。本发明为了解决晶体双折射效应引起的重影干扰以及光学元件损伤尺寸的定量检测问题。具体步骤包括:通过结合晶体双折射效应与几何光学成像公式计算出光学元件上损伤...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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