下载一种对ITO膜进行刻蚀的刻蚀液的技术资料

文档序号:12330727

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本发明公开了一种对ITO膜进行刻蚀的刻蚀液,由一种对ITO膜进行刻蚀的刻蚀液,其是由以下重量组分配制得到:1.5重量份的1、2-乙二磺酸,0.6重量份的三氟甲基磺酸,2.5重量份的亚乙基二胺四甲叉膦酸钠,7重量份的草酸,88.4重量份的蒸馏...
该专利属于王丽所有,仅供学习研究参考,未经过王丽授权不得商用。

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