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本发明涉及软脉冲调制，具体描述了用于软脉冲调制的系统和方法。所述系统之一包括主射频(RF)发生器，用于在第一状态期间产生主RF信号的第一部分和在第二状态期间产生主RF信号的第二部分。主RF信号是正弦信号。该系统还包括：阻抗匹配电路，其经由R...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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