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一种高深宽比结构驻极体的射线极化装置及其极化方法制造方法及图纸
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下载一种高深宽比结构驻极体的射线极化装置及其极化方法的技术资料
文档序号:12311301
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本发明公开了一种高深宽比结构驻极体的射线极化装置及其极化方法。本发明的射线极化装置包括:防护箱体、射线发生器、探针台组件和高压偏置电源;射线覆盖区域内的两个待极化的驻极体表面之间的空间充满高密度等离子体;接高电压与接地的两个待极化的表面之间...
该专利属于北京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京理工大学授权不得商用。
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