下载一种精细导电铜材抛光后清洗方法的技术资料

文档序号:12306633

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本发明公开了一种精细导电铜材抛光后清洗方法,其特征在于,选用按如下成分配比的清洁剂进行清洗:螯合剂2%,阻蚀剂3%,表面活性剂3%,剩余的为去离子水,所述螯合剂和所述阻蚀剂均为FA/OII型,清洗剂的pH值为7.6~8,清洗的参数为:清洗压...
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