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一种可互锁的薄膜支架承载器（１００），具有中心部分（１０６）和外围部分（１０６），用于安全地存储一支撑一薄膜（１９６）的薄膜支架（１９４）。该中心部分（１０６）具有用于支撑所述半导体晶片和用于允许进入所述存储的薄膜支架的下表面的结构。该薄膜...
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