专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
应用材料公司
>
用于旋转压板式ALD腔室的等离子体源制造技术
>技术资料下载
下载用于旋转压板式ALD腔室的等离子体源的技术资料
文档序号:12293886
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
提供了基板处理腔室以及用于处理多个基板的方法,并且所述基板处理腔室大体包括电感耦合的饼形等离子体源,所述电感耦合的饼形等离子体源定位成使得在压板上旋转的基板将穿过与所述等离子体源相邻的等离子体区域。...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。