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本发明公开了一种材料分压放气率测试装置及方法，该装置包括一个测量室、一个真空泵组和一个限流小孔；真空泵组通过插板阀与测量室连接，限流小孔的前端通过角阀与测量室连接，后端直接与真空泵组连接；通过四极质谱仪和分离规，分别测量测量室为空和包含样品...
该专利属于中国科学院光电研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电研究院授权不得商用。

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