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吸光性优异且适于形成微细图案的感光性组合物制造技术
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文档序号:12280357
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本发明涉及一种吸光性优异且适于形成微细图案的感光性组合物,更详细而言,涉及一种利用通过紫外线灯和光掩模曝光的一次性曝光法或利用来自紫外线灯的光或短波长激光的直接描绘法,来形成用于实现所希望图案的固化部分,并通过碱性水溶液将未固化部分用于显影...
该专利属于株式会社KCC所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社KCC授权不得商用。
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