下载一种低温表面活化直接键合制备石英玻璃毛细管的方法的技术资料

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本发明公开了一种低温表面活化直接键合制备石英玻璃毛细管的方法。所述方法通过湿化学法活化石英玻璃表面,采取多层玻璃堆叠直接键合的方式,在较低温度下辅以适当的压力实现石英玻璃毛细管的制备。特定尺寸的钢针被加入到模型中用于限定毛细管道的尺寸和位置...
该专利属于哈尔滨工业大学深圳研究生院所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学深圳研究生院授权不得商用。

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