下载激光加工装置和激光加工方法的技术资料

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激光加工装置(1)是通过对加工对象物(S)照射激光(L)而在加工对象物(S)形成改质区域(R)的装置。激光加工装置(1)具备:激光光源(2),其出射激光(L);载置台(8),其支撑加工对象物(S);以及光学系统(11),其使从激光光源(2)...
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