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激光加工装置和激光加工方法制造方法及图纸
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文档序号:12260431
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激光加工装置(1)是通过对加工对象物(S)照射激光(L)而在加工对象物(S)形成改质区域(R)的装置。激光加工装置(1)具备:激光光源(2),其出射激光(L);载置台(8),其支撑加工对象物(S);以及光学系统(11),其使从激光光源(2)...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。
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