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本发明涉及一种蒸发单元，其用于将材料蒸发到设置在真空沉积室中的基材上并且包括：内封壳，内封壳界定接纳容纳材料的坩埚的蒸发室并具有用于将坩埚插入蒸发室中的开口；蒸发装置，蒸发装置设置于内封壳的外周以将坩埚置于蒸发状态；喷射管道，喷射管道用以将...
该专利属于瑞必尔所有，仅供学习研究参考，未经过瑞必尔授权不得商用。

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