下载一种射频LDMOS晶体管及其制造方法的技术资料

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本发明属于半导体技术领域,特别涉及一种射频LDMOS晶体管及其制造方法。本发明的技术方案,主要为将传统的LDMOS法拉第罩设置为多段结构,分段后的金属相互独立,从而使靠近漏端处的金属块浮空,能够改善浮空后金属与其下面漂移区的电势差,从而降低...
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