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一种扫描镜驱动装置与驱动方法及扫描装置，该扫描镜驱动装置包括累加单元与处理单元。累加单元用以接收频率控制字与第一累加值，并对频率控制字与第一累加值进行累加，以产生第二累加值。处理单元耦接累加单元，用以接收第二累加值，并依据第二累加值与预设值...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。

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