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本发明属于材料化学技术领域，尤其涉及一种Ⅲ族氮化物/异质衬底复合模板及其制备方法，该复合模板包括衬底层和外延层，所述外延层内存在纳米级的孔洞，所述外延层的材料为Ⅲ族氮化物，在纳米级孔洞层下方的Ⅲ族氮化物材料中含有Al元素，由于外延层中纳米孔...
该专利属于苏州纳维科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州纳维科技有限公司授权不得商用。

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