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多级磁场电弧离子镀和射频磁控溅射复合沉积方法技术
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文档序号:12201679
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多级磁场电弧离子镀和射频磁控溅射复合沉积方法,属于材料表面处理技术领域,本发明为解决低熔点的纯金属或多元合金材料和非金属材料(比如石墨)在传统电弧离子镀中的大颗粒问题和半导体材料及绝缘材料不能使用的限制,传统磁控溅射离化率及薄膜沉积效率低、...
该专利属于魏永强所有,仅供学习研究参考,未经过魏永强授权不得商用。
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