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本发明公开了一种节能太阳能电池表面处理方法，在电池片表面通过等离子体化学气相沉积法镀膜，镀膜的具体工艺为，在薄膜沉积初期，NH3与SiH、的气体比例控制在1∶0.37左右，采取适当低的等离子体激发能量，沉积低致密性的薄膜，随着薄膜的生长，等...该专利属于哈尔滨市宏天锐达科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨市宏天锐达科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种节能太阳能电池表面处理方法，在电池片表面通过等离子体化学气相沉积法镀膜，镀膜的具体工艺为，在薄膜沉积初期，NH3与SiH、的气体比例控制在1∶0.37左右，采取适当低的等离子体激发能量，沉积低致密性的薄膜，随着薄膜的生长，等...