专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
东京毅力科创株式会社
>
判定方法、控制方法、判定装置、图案形成系统和程序制造方法及图纸
>技术资料下载
下载判定方法、控制方法、判定装置、图案形成系统和程序的技术资料
文档序号:12200275
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种能够可靠并且迅速的判定处理容器内的部件的更换时期的判定方法、控制方法、判定装置、和图案形成系统。判定处理容器内的部件的更换时期的判定方法,包括:预先根据第一图案的形状或尺寸算出第一偏差的工序;在所述处理容器内对基板上的膜进行蚀...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。