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固化物膜的制造方法、电子部件的制造方法及电子部件技术
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文档序号:12198780
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本发明提供一种可提高微细的固化物膜的形成精度,且可提高固化物膜的密合性的固化物膜的制造方法。本发明的固化性膜的制造方法具备使用喷墨装置(11)涂布具有光固化性及热固化性且为液状的固化性组合物(12)的涂布工序;从第1光照射部(13)向固化性...
该专利属于积水化学工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过积水化学工业株式会社授权不得商用。
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