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用于减小非线性运动的构型制造技术
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下载用于减小非线性运动的构型的技术资料
文档序号:12180044
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披露了用于修改弹簧质量构型的多个实施例,这些实施例将不想要的非线性运动对MEMS传感器的影响最小化。这些修改包括以下任何各项中的任一项或任何组合:在该弹簧质量构型的多个旋转结构之间提供一个刚性元件、在这些旋转结构之间调谐一个弹簧系统并且将一...
该专利属于因文森斯公司所有,仅供学习研究参考,未经过因文森斯公司授权不得商用。
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