温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种MEMS器件气密封装盖板，包括盖板本体和Au80Sn20合金焊片，所述盖板本体的一面上激光刻蚀有略小于焊片内框的矩形框状线沟槽，所述的Au80Sn20合金焊片熔化后受线沟槽束缚呈规则形状与盖板冶金结合，保证焊料与盖板的定...
该专利属于广州先艺电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州先艺电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。