温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种外延结构的制备方法,其包括以下步骤:提供一基底,该基底具有一外延生长面;在该基底的外延生长面设置一碳纳米管膜,该碳纳米管膜与所述基底的外延生长面接触,该碳纳米管膜具有多个间隙,使得部分所述外延生长面通过所述多个间隙暴露;在该基...该专利属于清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种外延结构的制备方法,其包括以下步骤:提供一基底,该基底具有一外延生长面;在该基底的外延生长面设置一碳纳米管膜,该碳纳米管膜与所述基底的外延生长面接触,该碳纳米管膜具有多个间隙,使得部分所述外延生长面通过所述多个间隙暴露;在该基...