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本发明涉及一种基于微机电技术的M×N路光交换阵列，可将M路输入端中的任一个光束耦合到任意一个N路输出端中，实现对输入光的交换，其特征在于：所述光交换阵列由M路输入光纤、N路输出光纤和N层MEMS微镜阵列器件等部分组成；光由M路输入光纤输入，...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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