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本发明公开了一种基于石墨烯的透明导电薄膜的图案化方法，包括：提供透明导电薄膜，包括基底和主要由石墨烯构成的透明导电层；以具有镂空图形结构的掩模掩盖透明导电层；其后，将透明导电薄膜置入蚀刻室，再通入工作气体并生成可与石墨烯反应生成气态产物但不...
该专利属于苏州汉纳材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州汉纳材料科技有限公司授权不得商用。

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