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在为了避免装置的大型化、复杂化，通过在系统内使检测体架循环地使用的场合，由于输送线彼此相交，导致产生处理速度的下降，并且为了避免相交，需要电梯机构或机械手机构等复杂的机构。空架输送线与主输送线、紧急超越线、返回线独立地配置在下层，在容纳模块...
该专利属于株式会社日立高新技术所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。

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