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搬送系统、曝光装置、搬送方法、曝光方法及器件制造方法、以及吸引装置制造方法及图纸
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下载搬送系统、曝光装置、搬送方法、曝光方法及器件制造方法、以及吸引装置的技术资料
文档序号:12137138
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搬送系统具有:晶片载台(WST),其保持所载置的晶片(W),并且能够沿着XY平面移动;吸盘单元(153),其在规定位置的上方,从上方以非接触的方式保持晶片,且能够上下移动;和多个上下移动销(140),其在晶片载台(WST)位于上述规定位置时...
该专利属于株式会社尼康所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社尼康授权不得商用。
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